（μs/cm）。而电阻值则为导电度的倒数，单位为百万欧姆-厘米（MΩ-cm），一般水之导电度较高，因此均用导电度表示，而纯水或超纯水因导电度较低，故以电阻值表示，超纯水通常电阻值在107Ω-cm，习惯上以18.2MΩ表示。导电度与电阻值皆和温度有密切关，在25°C时电阻值为18.24MΩ-cm，但同样水在70°C时，其电阻值则为2.9MΩ-cm。表2-1及表2-2所示分别导电度、电阻值和可溶性固体之相互关系表以及导电度、电阻值与温度之关系表。
（4）微生物污染
微生物分为有生命和无生命二种，有生命之生物如有合适之条件可迅速繁殖：而无生命物质是从有生命之生物中分离或产生出来的。
（5）细菌群体
水中细菌污染是用每毫升中所含有机微生物总数或用每100毫克所含之群体数来加以表示。
（6）总有机碳量（Total Organic Carbon,TOC）
TOC是测量水中生物污染的指数参数，单位为毫克/升（mg/l）或ppm表示。TOC为高科技产业所用纯水中之一重要品质量测指标。
（7）生化需氧量（Biological Oxygen Demand,BOD）
BOD是测量水中有机物污染的参数，以毫克/升（mg/l）或ppm 表示。BOD 表示含有机物的水中，微生物繁殖所需的新陈代谢耗氧的数量。
（8）化学需氧量（Chemical Oxygen Demand,COD）
COD是测量水中有机物化学氧化所需氧的数量，其单位同BOD。
3.单元分析
单元分析是指可通过水样分析技术的确定数量之物质。其可分为：
（1） 硬度
水中所含有的钙离子和镁离子数称为水的硬度，常用之单位为 ppm as CaCO3。自然界中之水依硬度之高低大致可分为软水（硬度小于60ppm），中度硬水（61~120ppm），硬水（121～180ppm）和高度硬水（180ppm以上）四个等级。硬度可依能否加热给于去除分为暂时硬度和永久硬度。暂时硬度主要成分为碳酸钙，可于加热或浓缩过程中结晶而形成沉淀物，此结晶沉淀析出之现象称为结垢。永久硬度指钙、镁之氯化物、硫酸盐等无机盐，其不会因加热或浓缩而结晶沉淀。
（2）铁离子
铁为一常见之杂质，其占地球外壳成份之5％，是为最难消除的杂质之一。铁能将二价铁转变为不溶性的三价铁。在溶液中二价铁和钙、镁等离子作用，使水产生硬度。当氧化发生时，二价铁转化成三价铁，使水变成红棕色，此即生锈现象，此现象将造成水管之堵塞。
（3）二价锰离子
