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选择性氧化
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2025-01-23 | 892 次浏览 | 分享到:

0.88As,稍微深色的是 Al0.92Ga0.08As,黑色线段就是被氧化形成的AlxOy,较长者就是 Al0.98Ga0.02As氧化层,氧化层下方较厚的浅色结构就是等效1个波长的活性层增益区;较短的黑色线段就是Al0.92Ga0.08As被氧化形成的AlxOy,比较两者氧化深度差异就可以发现铝含量仅差异6%就可以造成氧化速率的显著变化。