启闳半导体科技(江苏)有限公司QiHong Semicon TECHNOLOGY (JIANGSU) CO.,LTD
0.88As,稍微深色的是 Al0.92Ga0.08As,黑色线段就是被氧化形成的AlxOy,较长者就是 Al0.98Ga0.02As氧化层,氧化层下方较厚的浅色结构就是等效1个波长的活性层增益区;较短的黑色线段就是Al0.92Ga0.08As被氧化形成的AlxOy,比较两者氧化深度差异就可以发现铝含量仅差异6%就可以造成氧化速率的显著变化。