“908”工程包括了中国第一条 150mm 生产线,是中国集成电路产业发展史上的重要里程碑之一。
1989年2月,机械电子工业部在无锡召开了集成电路产业发展战略研讨会,提出 “人五” 期间 “加速基地建设,形成规模经济,注重发展专用电路,加强科研生产结合,安排好设备、仪器和材料的发展,振兴我国集成电路产业”的发展战咯。
1990 年8月,机械电子工业部提出集成电路的 “908”工程建设计划,12月15日中央政治局听取了机械电子工业部关手 “908”工程的汇报,同意实施“908” 工程。1992年3月机械电子工业部正式上报了 《 集成电路908 工程项日建议书》,其主要建设内容如下。
(1)建设一条150mm、特征尺寸 1um/ 0. 8um、月产能2万片、年产 3000万块大规模集成电路的生产线;
(2)建设一批集成电路设计中心,为生产线开发产品,满足整机对集成电路的急需;
(3)建立一个集成电路封装厂和一个掩模版制作中心,为全行业服务;
(4)对6个专用设备、仪器厂所进行技术改造,形成设备仪器的配套能力;
(5)建立 150mm 硅片及多晶硅的供应能力,其他材料由相关主管部门在“八五”技改计划中子以安排。
建设 150mm 生产线是“908〞 工程的核心项目,其选点工作在选址专家组实地考察上海、无锡、绍兴三地的基础上,李鹏总理批示:“项目放在无锡,发挥上海作用”,生产线项目最终确定在无锡建设。1992 年9 月 14 日国家计委以计机电 〔1992〕 1536 号文正式批准立项。在对外技术引进中,经过多次选择论证,最后选择 AT&T作为合作对象。
“908〞工程的设计中心共选择十家单位承担,它们是北京集成电路设计中心、杭州东方微电子开发联合中心、深圳先科机电 IC 设计中心、上海IC设计中心、机械电子工业部自动化所 IC 设计中心、机械电子工业部54 所IC 设计中心广东IC设计中心、兵器工业总公司 214所 IC设计中心、太极公司IC 设计中心和航天 771 所IC 设计中心。
集成电路封装项目由上海无线电第十九厂承担,并与松下公司合资。掩模版项目由中科院上海治金研究所承担,并与杜邦公司合资。
专用设备仪器项目由 6个单位承担:机械电子工业部 45所(分布重复投影光刻机)、机械电子工业部48 所(离子注人机)、700厂(干法刻蚀机)、708厂(磁控溅射台)、709厂(硅片处理系统)、767厂(测试仪器)。
150mm 硅片 区多晶硅由有色金属工业总公司下属四家公司承担。
“908〞 工程是一个涉及多部门、多地方、多领城的系统工程,为加强协调领导,成立了以邬家华副,总理为组长,郝建秀和管培炎为副组长,各有关部委、上海市、江苏省领导为成员的“908〞 工程领导小组。领导小组办公室设在机械电子工业部。
“908” 工程共安排基本建设投资预算 27亿元(含外汇3.12 亿美元),其中中火资金20 亿元(拔款占三分之一),地方资金7亿元。在总投资中,“八五”期间安排16.8亿元,“九五”初期安排10.2 亿元,所需外汇由中央外汇解决。903”工程作为国家的重点工程,享受国家给子集成电路的有关优惠政策,包括相关税收优惠和免征设备材料进口关税,减半征收所得税和从销售收人中提取不超过 10%的技术研发费在税前列支。
在广大建设者的努力下,华晶 150mm 生产线项目于 2001年4月18 日通过国家验收,此前其余项目均完成建设任务。至此,“908”工程完成了预定的建设目标。