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无尘室洁净度---JIS规格“第1~9级”
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-06-06 | 15 次浏览 | 分享到:

在半导体生产线的无尘室中,如字面所示,为一干净的空间,然而实际上有多么干净呢?视其中生产的半导体的精细化程度,而对于无尘室亦有不同洁净度的要求。

这是因为,当采用在半导体上的元件尺寸越小,则能够造成半导体不良的微粒子的尺寸也越小的缘故。

代表洁净度的“等级”标示

无尘室洁净度,依无尘室中单位体积的悬浮微粒子数区分“等级”。图6-9-1以图示显示洁净度等级。一般而言,此等级标示为无尘室完工当下的数值,并非实际产品在生产时的稼动中等级。当然,稼动的等级一定较完工当时的等级为低。

无尘室的等级标示,又以JIS规格、USA规格、ISO规格三种规格定义之。

JIS规格(日本工业规格)

一立方公尺中,粒子直径0.1μm以上的微粒子数,以10的乘幂呈现时的指数数值,来表示等级。可分成等级1~9

USA规格(美国联邦规格)

基于英制单位(ft II英呎,1fl750px)的情况下,以0.5 μm以上的粒径为标准,计算一立方英呎的粒径0.5Hm以上的微粒子数。另一方面,基于公制单位(公尺)的情况下,以0.5μm以上的粒径为标准,计算一立方英呎的粒径0.5μm以上的微粒子数的10的乘幂。另外,为了明确知道是以公制单位(公尺)为标准,在M之外追加等级MX)来表示。X表示等级。

  ISO规格(国际标准化机构)作为包括日本、美国、欧洲为中心,全世界统一标准的规格。在ISO表示法中,标准粒子的粒径为0.1 μm,标准体积为一立方公尺,也就是采用与JIS同样的方式。

JISIS0的等级分类表中,占有状态(使用状态)可从施工完成时间点、制造装置设置时间点、生产运作时间点,此三个选项中选取。

关于洁净度各种规格的代表等级,如图6-9-2所示。