启闳半导体科技(江苏)有限公

TsiHon Semicon Technology (JiangSu)Co.,LTD
服务热线:
17621381228
气体钢瓶室的设置细节---为什么刻意将天花板的耐压弱化?
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-06-28 | 19 次浏览 | 分享到:

四种气体供应方法

在半导体的生产线上,会使用各种不同的气体,而这些气体的供应方法,可大致分别为四种。

第一种是,利用设置在工厂内附近位置的现场气体装置(现场生产气体的设备),从空气中分离高纯度的氮气,经由配管供应至无尘室内的使用站点。

第二种是,业者使用气罐车将工厂内需要的大量氮气、氧气、氢气等气体(液态气体)送到称为气体储存槽的设施中,进行气体供应。

第三种是,将用量相对大的各种特珠气体,以气体钢瓶购入,收纳在钢瓶箱内,保管于钢瓶室,进行气体供应。

第四种是,将偶尔会使用的用量小的特殊气体,以小型气体钢瓶放置在无尘室附近,进行直接气体供应。

事先设想气体爆炸情况所设计的建筑物

气体钢瓶为用来储存及搬运、使用液态气体或压缩气体,能够完全密闭的钢制耐压容器,出气位置视需求,装置有气阀。又因使用再半导体的气体钢瓶中多装有高纯度的气体,故使用的钢瓶为在内壁施予研磨加工的洁净钢瓶。

气体用的钢瓶,根据“容器保安规则”,视气体种类的不同,在钢瓶上涂装的颜色也有一定的规定。归属于“其他气体”者,使用灰色钢瓶,必须将气体的名称以文字标示。再者,当气体属于剧物、毒物、可燃物,必须于钢瓶上追加记载资讯,以及气体的所有者。

而保管储存这类气体钢瓶的钢瓶室,特别需要注意气体的泄漏,故在集中管理室里必须常态性地进行监控。当有泄漏发生,亦设有称为“关闭太郎”、能够自动关闭气阀的装置。

此外,做最坏的考量,当发生气爆等事件时,必须将该能量释放方向引导朝向天花板,进而降低横向力道的影响,即“防爆系统”,例如将天花板的耐压故意设计得比四周墙壁来得低。