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装载在基座上---精确装载作业
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-04-24 | 30 次浏览 | 分享到:

完成切割制程,并判定为“良品”的半导体晶片,将被一个一个分别装载在包装(装载半导体用的基座)上。

因此,首先必须将晶片装载并贴附在包装的岛部,此制程称为装载或称为黏晶。自动进行此动作的机器,则称为装载器或黏片机。

包装还有各种不同的种类,对晶片的收纳方式也不同,在此以最多使用的“树脂制模包装”为例,来说明装载制程。

装载制程的介绍

如图3-7-1所示,装载器将排列齐黏贴在UV胶带上的良品晶片一个一个取起,并放到事先设置好的“引脚框架”的金属制框岛部,贴附上去。

通常在贴附过程中,镀银的岛部温度会从常温上升至摄氏250度,并以导电性的银胶打上(灌入树脂使其凝固)后,从上方轻压晶片使其固着。此种装载法称为“树脂装载法”。

近期因全自动装载普遍的使用,这一连串的动作由数位相机及电脑控制,晶片与引脚框架的拿取均利用机器人技术,而完全不需要人力的介入。

除了上述以银胶透过树脂进行的黏着法之外,还有如图3-7-2所示的,①将岛部温度上升至摄氏400度,直接黏着在镀金的岛部上方,与晶片形成Au-Si共晶,②中间夹着小片的金胶带,轻轻摩擦,而使其固着。这些方式分别称为“共晶装载”及“金片装载”。

这类在高温下进行的装载方法,为了避免金属部材的氧化,作业时必须于氮气环境中进行。

利用共晶反应的装载法,主要运用在陶瓷包装等高度可靠性的半导体上。

在装载制程中最重要的因素,除了如何将晶片正确无误地固定在岛部,甚至如何尽量降低岛部与晶片之间的电阻及热阻,也是必须注意的事情。