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轻松参观无尘室---事前准备可帮助了解工厂各种特色
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-07-02 | 24 次浏览 | 分享到:

特别寒冷的地方,有风从旁边横向吹来的地方等

若各位读者有机会进入半导体生产线的无尘室,可试着观察下述的几个点。

在前述的章节中曾经提过,在无尘室内,为了维持环境的洁净度,有空气层流从天花板向着地板表面,以向下气流(秒速1~2m)的方式不断流动。

当你走在无尘室中,应该会发现某些地方感到比别处来得寒冷。该处就是进行光蚀刻的区域,因其要求的洁净度较其他区域来得高,向下气流的速度也较他处来得快,借以提升洁净度。就是因为风速的不同,使人感觉到寒冷。

另外也请特别注意有“从旁边横向吹来的气流”的地方。在出入口附近设有隔间的地方,通常一边是正压,一边是负压,而正压的那边其设定的洁净度也较高。

上述这些无尘室内的气流设定,是为维持环境洁净度的重要管理项目之一,均会进行定期点检。

裸露的晶圆具有感应器的功用

在无尘室的一角,各位会发现有矽晶圆被裸露地放置着,这是什么原因呢?

清洁的矽晶圆表面具有排斥水的特性(疏水性),能将水完全排开。然而,当矽晶圆表面残留著有机物等不纯物或氧化物,会变成亲水性,出现水沾黏在表面的状况。借由观察此裸露晶圆表面的变化,可达到侦测漂浮在无尘室内的微量不纯物质的功用。也就是说,裸露的晶圆是感应器的功用。

此外,在工厂周围绕一圈,读着会发现特别是在工厂后方设置各种药液槽附近所铺装的水泥地面,都设计成稍微倾向某个方向。这是为了因应若药液外泄,可以利用大量水进行稀释,而暂时储存此稀释水的储藏槽就设置在路面较低侧的地下,刻意做了这样的倾斜设计。