为了维持设置在生产线上的各种装置的机能，需要进行定期检查。定期点检的内容及频率视装置而有所不同，在此以“干蚀刻装置”做为代表性的范例，来看看包括点检事项的管理项目。

定期点检的种类及点检项目

定期点检除了每天进行一次的“日常点检”外，还有“每月点检”、“每六个月点检”、“每十二个月点检”等频率。

图8-9-1显示了日常点检的内容。日常点检中，针对RF累积放电时间进行记录，达到1000小时则必须进行chamber的维护。点检项目有下侧电极温度及各种冷却水流量等。冷却水的功用是将装置的发热带走，使其保持在一定温度的循环的纯水。

图8-9-2显示了每月检点的项目。点检项目中，包括加热器温度、涡轮分子帮浦（TMP）用的氮气充扫流量、制程气体压力、氮气压力、电容式压力计的归零调整、压力控制器的归零调整、泄漏确认、干式帮浦的冷却水流量、干式帮浦的氮气压力、循环器的循环水交换、循环器的循环水转换后压力、循环器的冷却散热片的确认等。

TMP为一拥有金属性的涡轮翼的转轮，借由高速旋转将气体分子弹出的原理，达到排气效果的帮浦。电容式压力计为借由静电容量的变化感测位移量的膜片式真空计。

图8-9-3显示了六个月点检及十二个月点检的内容。六个月点检包括了皮拉尼真空计的真空度、质量流动控制器（MFC）的归零调整等。另外，十二个月点检包括了高频（RF）电源的组成。皮拉尼真空计的原理为，利用在真空中通电，受热的金属线所放出的热量因压力而化来进行侦测，主要在大气压～10^-1Pa的压力范围作动，多使用在真空排气系统的控制。MFC为测量流体的质量流量并进行控制的机器。

如上述说明，每日的检查、每个月检查、六个月检查等，读者想必可以了解，并不仅仅是检查次数的很多而已，还包括了如此繁杂的检查项目。