全球范围内，集成电路专用设备业集中度高，产品和市场主要掌握在美、日、荷兰等西方国家的企业手中。中国半导体专用设备产业经过近些年的发展，有了很大进步。中国电子专用设备工业协会会员单位共计 129 家，其中专门从事集成电路专用设备及零部件研发生产的企业有30余家，主要分布在北京、上海、沈阳三地。

北京是中国半导体专用设备企业的重要集聚区，聚集了北方华创科技集团股份有限公司、中国电子科技集团公司第四十五研究所、北京中科信电子设备有限公司、北京华卓精科科技股份有限公司、北京京运通科技股份有限公司等骨干企业。北方华创科技集团股份有限公司成立于 2016年，由北京七星华创电子股份有限公司（简称七星电子）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（简称北方微电子）战略重组而成，主营产品为氧化炉、扩散炉、LPCVD 设备、PECVD 设备、退火炉、清洗机、刻蚀机、PVD设备等。中国电子科技集团公司第四十五研究所是中国电子科技集团公司电子装备有限公司旗下的骨干企业，与中国电子科技集团公司第二研究所和第四十八研究所强强联合，组建电科装备集团，主营产品为离子注入机、光刻机、CMP 设备等。

上海是中国半导体设备产业的另一个重要基地，聚集了中微、上海微电子、上海睿励、盛美半导体等一批骨干企业。中微的主要产品包括介质刻蚀(D-RIE)设备、硅通孔（TSV）刻蚀设备和 MOCVD 等，在国内 300mm 生产线 28nm工艺节点成功应用，20nm/ 16nm 刻蚀机在台积电、SK 海力士、东芝、Intel 等国际一流生产线上通过验证并实现销售。上海微电子主要从事投影光刻机的研发、生产、销售与服务，产品广泛应用于IC 制造与先进封装、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、功率器件等制造领域。上海睿励的主营产品为光学测量设备、光学缺陷检测设备和电子光学分析检测设备。盛美半导体主要产品为电镀、拋光及清洗设备。

沈阳地区的代表企业有沈阳芯源、沈阳拓荆等，其主营产品包括匀胶/清洗/去胶设备、PECVD 设备等。

我国集成电路专用设备领域的核心零部件企业相对分散。沈阳富创的主要产品包括铝合金、不锈钢、钛合金精密零件及其组装件，开始小批量供应国内外容户。北方华创的气体质量流量计在泛半导体领域实现大批量销售，并成功进入海外市场，在集成电路领域小批量销售。苏州珂玛、上海卡贝尼的高端陶瓷部件已开始进入海内外半导体领域。靖江先锋的刻蚀机腔室加工开始批量供货。沈阳科仪的千泵、阀门等产品开始在半导体领域批量销售。北京科仪的磁悬浮分子泵完成研发，开始试用。川北真空的阀门等在太阳电池领域得到批量应用。

集成电路设备重点企业见下表

集成电路设备重点企业